含有金属化合物的气体的检测剂及检测方法

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专利名称	含有金属化合物的气体的检测剂及检测方法
申请号	CN200410006984.0	申请日期	2004-03-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-29	公开/公告号	CN1532539
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/78 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/75 材料在其中经受化学反应的系统，测试反应的进行或结果（材料在火焰或等离子体中燃烧的装置入G01N 21/72，G01N 21/73）〔3〕 G01N21/77 观察对化学指示剂的作用〔3〕 G01N21/78 产生颜色变化〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;7;8查看分类表>
申请人	日本派欧尼株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本派欧尼株式会社	当前权利人	日本派欧尼株式会社
发明人	大塚健二;名和洋二;田山竜规
代理机构	北京三幸商标专利事务所	代理人	刘激扬

摘要

本发明提供一种含有金属化合物的气体的检测剂及检测方法，可以不受伴随气体氨等的影响，高灵敏度且容易地检测出从半导体制造工序中排出的气体中含有的金属化合物。该检测剂在载体上作为变色成份载持有吡啶基偶氮化合物。另外，通过将含有金属化合物的气体与上述检测剂接触，检测该检测剂的变色，来检测金属化合物。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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