分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010694765.5
IPC分类号：H05B3/26;H01L21/67;B05C5/02;B05C13/00
申请日期：
2020-07-17
申请人：
常州铭赛机器人科技股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法
申请号	CN202010694765.5	申请日期	2020-07-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-03	公开/公告号	CN111885755A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05B3/26 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05B 电热；其他类目不包含的电照明 H05B3/00 欧姆电阻加热的 H05B3/20 基本上在一个二维平面内扩展表面积的加热元件，例如平板电热器（H05B 3/62，H05B 3/68，H05B 3/78，H05B 3/84优先）〔5〕 H05B3/22 不可弯曲的 H05B3/26 加热导体安装在绝缘基座上的	IPC分类号	H;0;5;B;3;/;2;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;5;C;5;/;0;2;;;B;0;5;C;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	常州铭赛机器人科技股份有限公司	申请人地址	江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州铭赛机器人科技股份有限公司	当前权利人	常州铭赛机器人科技股份有限公司
发明人	周典虬;杨健;郜福亮;林翔;樊建;曲东升;李长峰
代理机构	常州至善至诚专利代理事务所（普通合伙）	代理人	赵旭

摘要

本发明公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法，分区加热的晶圆加热装置包括：发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器，发热支撑台内限定有加热腔；加热管伸入加热腔以进行加热；加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方，加热盘的上表面形成为加热面，加热盘接收加热管的热量并由加热面传递给晶圆，加热盘上设有至少两个加热区；至少两个热电偶分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度；温控器与加热管和热电偶相连，温控器根据热电偶检测的温度控制加热管加热。该分区加热的晶圆加热装置及晶圆加热方法具有使晶圆受热均匀，加热过程平稳的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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