无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410702200.1
IPC分类号：--
申请日期：
2014-11-28
申请人：
中北大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法
申请号	CN201410702200.1	申请日期	2014-11-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-18	公开/公告号	CN104360102A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市尖草坪区学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	石云波;刘俊;唐军;马宗敏;陈艳香;李祥;李策;智丹
代理机构	太原科卫专利事务所（普通合伙）	代理人	朱源

摘要

本发明涉及加速度传感器，具体是一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有压阻式高量程加速度传感器适用范围受限的问题。无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，包括衬底、封闭空腔、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第三悬臂梁、第四悬臂梁、质量块、平面螺旋电感、第一压敏电阻、第二压敏电阻、第一电容、第二电容、第一线孔、第二线孔、第三线孔、第四线孔、第一电连线、第二电连线、第三电连线、第四电连线、第五电连线。本发明适用于加速度测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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