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激光划线装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN87106576
IPC分类号：--
申请日期：
1987-09-25
申请人：
株式会社半导体能源研究所

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	激光划线装置和方法
申请号	CN87106576	申请日期	1987-09-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	1988-05-18	公开/公告号	CN87106576
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社半导体能源研究所	申请人地址	日本神奈川县厚木市白谷398番地变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社半导体能源研究所	当前权利人	株式会社半导体能源研究所
发明人	篠原久人
代理机构	中国专利代理有限公司	代理人	林长安;杜有文

摘要

叙述了一种激光划线装置和方法。在该装置中，用激光束照射在基片上形成的薄膜，该激光束聚焦于薄膜的某一有限部分上，以移除该部分，从而形成一个沟槽。在聚焦激光束之前，先将用以清除一部分在基片上形成的薄膜的激光束切除其边缘部分。由于这个清除工序而抑了球面象差。

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