一种光电器件探针测试系统

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420336202.9
IPC分类号：G01R31/26;H02S50/10;G01M11/00
申请日期：
2014-06-23
申请人：
郭旺水

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著录项信息

专利名称	一种光电器件探针测试系统
申请号	CN201420336202.9	申请日期	2014-06-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;H;0;2;S;5;0;/;1;0;;;G;0;1;M;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	郭旺水	申请人地址	浙江省宁波市象山县贤痒镇工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	郭旺水	当前权利人	郭旺水
发明人	郭旺水
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汤东凤

摘要

本实用新型涉及一种光电器件探针测试系统，属于光电器件性能测试领域，它包括密闭的测试腔、样品台、探针台、接线槽、光采集和发射探头、光电测试仪器，样品台位于测试腔腔体的中部，探针台位于样品台下方，并通过旋转升降装置与样品台上的样品接触，探针台的探针阵列通过导线与测试腔外的接线槽相连接，光采集和发射探头悬于测试腔腔体内样品台的上方，并通过光纤接到腔外的光电测试仪器。该光电器件探针测试与器件制备系统整合后，可原位实现在真空、氮气、氧气和特殊气氛环境下，对电致发光器件、太阳能电池、场效应晶体管、电存储器件等的快速、简便、标准化、模块化和自动化的检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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