半导体工艺设备及开门机构

发明专利有效专利

申请号：
CN202011579356.7
IPC分类号：E05F15/50
申请日期：
2020-12-28
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	半导体工艺设备及开门机构
申请号	CN202011579356.7	申请日期	2020-12-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-09	公开/公告号	CN112627662A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	E05F15/50 ? IPC结构图谱： E 固定建筑物 E0 建筑 E05 锁；钥匙；门窗零件；保险箱 E05F 使翼扇移到开启或关闭位置的器件；翼扇调节；其他类目未包括而与翼扇功能有关的零件 E05F15/20 （转入E05F15/70） E05F15/50 利用液压致动器〔2015.01〕	IPC分类号	E;0;5;F;1;5;/;5;0查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	闫士泉;谢远祥;姚晶;韩子迦
代理机构	北京国昊天诚知识产权代理有限公司	代理人	施敬勃

摘要

本发明公开一种开门机构，开门机构包括向第一方向移动的第一伸缩机构、向第二方向移动的第二伸缩机构和门体连接部，其中第一所述机构、第二伸缩机构、门体连接部和门体依次相连，本申请通过机械部件之间的装配连接关系以及第一伸缩件和第二伸缩件具备的运动方式，即可实现第一伸缩机构和第二伸缩机构的联动，进而实现门体的开关动作，相比电气控制方式能够省去电气布局成本，并且也能够降低对门体开关动作的控制难度，本申请还提出一种半导体工艺设备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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