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存储器的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110128863.7
  • IPC分类号:H01L21/8242
  • 申请日期:
    2021-01-29
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称存储器的制备方法
申请号CN202110128863.7申请日期2021-01-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2021-05-11公开/公告号CN112786536A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8242
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;2查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人张家云
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明提供一种存储器的制备方法,涉及半导体集成电路制造技术,用于解决存储器的性能差的问题。该存储器的制备方法包括如下步骤提供基底;在基底上形成第一隔离层;在第一隔离层上形成第一掩膜层;在第一掩膜层上以及部分第一隔离层上形成第二隔离层;在第二隔离层上形成第二掩膜层;去除部分第二掩膜层和部分第二隔离层,保留下的第二隔离层的顶面与第一掩膜层的顶面平齐;去除第一掩膜层和剩余的第二掩膜层;在第一隔离层和保留下的第二隔离层上形成第三掩膜层;去除部分第三掩膜层;以保留下的第三掩膜层为掩膜,刻蚀保留下的部分第二隔离层及其下方的第一隔离层。本发明的存储器的制备方法用于制备性能优越的存储器。

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