具有可调电极面积比的受约束等离子体

发明专利有效专利

申请号：
CN200680021011.1
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2006-06-12
申请人：
朗姆研究公司

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著录项信息

专利名称	具有可调电极面积比的受约束等离子体
申请号	CN200680021011.1	申请日期	2006-06-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-06-11	公开/公告号	CN101199036
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	安德烈亚斯·菲舍尔
代理机构	上海华晖信康知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	樊英如

摘要

一种等离子体反应器(200)，包括室(202)、底部电极(204)、顶部电极(206)、第一约束环组(208)、第二约束环组(210)、以及接地扩展部(212)。该顶部和底部电极、该第一和第二约束环组、以及该接地扩展部均封入该室内。该第一约束环组大体上平行于该底部电极和该顶部电极，并围绕该底部电极和顶部电极之间的第一体积。该第二约束环组大体上平行于该底部电极和该顶部电极，并围绕该底部电极和顶部电极之间的第二体积。该第二体积至少比该第一体积大。接地扩展部邻近并围绕该底部电极。该第一约束环组和该第二约束环组能够被独立地升高和降低，以延伸到该接地扩展部之上的区域内。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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