晶片清洁系统、丝锯和用于清洁丝锯中的晶片的方法

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专利名称	晶片清洁系统、丝锯和用于清洁丝锯中的晶片的方法
申请号	CN201410525584.4	申请日期	2014-10-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-01-06	公开/公告号	CN105216131A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D7/00 专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件 B28D7/02 用于清除或消除灰尘的，例如通过喷射液体；用于冷却工件的	IPC分类号	B;2;8;D;7;/;0;2;;;B;2;8;D;5;/;0;4查看分类表>
申请人	应用材料瑞士有限责任公司	申请人地址	日本国广岛县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东洋先进机床有限公司	当前权利人	东洋先进机床有限公司
发明人	G·麦卡;R·马丁内斯;J·斯佩雷尔;F·塞弗里科
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	徐伟

摘要

一种用于丝锯(100)的晶片清洁系统(500)，所述丝锯(100)包括形成用于切割晶片的丝网的丝线，所述晶片清洁系统包含至少一个清洁喷嘴(540)，所述清洁喷嘴(540)被配置且布置用于从所述晶片的至少一个侧面提供清洁液到相邻晶片之间的间隔中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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