一种基板清洗设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201310752372.5
IPC分类号：B08B11/04;H01L21/66
申请日期：
2013-12-30
申请人：
合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种基板清洗设备
申请号	CN201310752372.5	申请日期	2013-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-02	公开/公告号	CN103691715A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B11/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B11/00 专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B11/04 专门用于平板玻璃的，如加工挡风玻璃前用的（清洁永久固定的窗格玻璃之间的间隙入E06B 3/677）	IPC分类号	B;0;8;B;1;1;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司	申请人地址	安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司	当前权利人	合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
发明人	刘建辉;丁欣;陈甫;张亮;袁涛;刘祖宏;吴代吾;侯智
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华

摘要

本发明公开了一种基板清洗设备，包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器；其中，载台固定于机架；清洗头本体位于载台上方，且可滑动地安装于机架；激光位移传感器安装于清洗头本体、且通过向玻璃基板表面发射激光探测射线来测量激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息；信号处理器与激光位移传感器信号连接、且用于当激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。本发明提供的基板清洗设备能够准确地检测出被测玻璃基板是否有破损，且能够避免漏检的情况出现，提高了破损玻璃基板的检出率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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