一种可实现快速降温的立式镀膜炉体系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821879851.8
IPC分类号：H01L31/18;C23C14/56;C23C16/54
申请日期：
2018-11-14
申请人：
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司

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专利名称	一种可实现快速降温的立式镀膜炉体系统
申请号	CN201821879851.8	申请日期	2018-11-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人	深圳市拉普拉斯能源技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市拉普拉斯能源技术有限公司	当前权利人	深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
发明人	林佳继;庞爱锁;刘群;林依婷
代理机构	深圳市中科创为专利代理有限公司	代理人	彭西洋;苏芳

摘要

本实用新型公开一种可实现快速降温的立式镀膜炉体系统，每一炉体对应一升降舟装置、一第一移送装置布置；炉体包括炉管、舟、炉门；所述舟与炉管分离设计，舟与炉门连接；升降舟装置设于炉管一侧，用于驱动炉门带动舟退出或进入炉管；若干第一移送装置沿第二移送装置的长度方向布置，第一移送装置的一端与升降舟装置连接，另一端与第二移送装置连接；第一移送装置用于驱动炉门带动舟在升降舟装置与第二移送装置之间移送；第二移送装置用于驱动炉门带动舟在第一移送装置与上下料工位之间移送。本实用新型采用分离式立式管式炉，舟可移出炉管装卸载硅片，省去了炉管内插片和舟在炉管内冷却占用的炉管时间，提高了炉管的利用率，提高了产能。

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