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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

超高真空直线推动导入器

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920011033.0
  • IPC分类号:G01N1/36
  • 申请日期:
    2009-02-27
  • 申请人:
    大连齐维科技发展有限公司
著录项信息
专利名称超高真空直线推动导入器
申请号CN200920011033.0申请日期2009-02-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N1/36IPC分类号G;0;1;N;1;/;3;6查看分类表>
申请人大连齐维科技发展有限公司申请人地址
辽宁省大连市高新园区火炬路35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人大连齐维科技发展有限公司当前权利人大连齐维科技发展有限公司
发明人郭方准
代理机构大连科技专利代理有限责任公司代理人于忠晶
摘要
本实用新型涉及真空设备。超高真空直线推动导入器,外筒一端装有后部板,另一端固定安装真空设备连接法兰,真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管,波纹管置于外筒内,且另一端焊接可动法兰,波纹管内装有导入棒,导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内,导入棒另一端焊接在可动法兰端面,可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆,推动杆与后部板活动插接。本实用新型采用固定波纹管密封,使得直线驱动顺畅,密封性能佳,达到放出气体少的要求,手动驱动自由,超高真空环境中的直线驱动在大气侧通过外部推动杆直推驱动,速度快且便捷,直线驱动位置控制精确。

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