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一种高功率激光焊接窗口片膜系镀制工艺

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201910232180.9
  • IPC分类号:G02B1/10
  • 申请日期:
    2019-03-26
  • 申请人:
    上海域申光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种高功率激光焊接窗口片膜系镀制工艺
申请号CN201910232180.9申请日期2019-03-26
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2019-07-12公开/公告号CN110007374A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B1/10IPC分类号G;0;2;B;1;/;1;0查看分类表>
申请人上海域申光电科技有限公司申请人地址
上海市嘉定区华亭镇华高路333号5幢1层A区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海域申光电科技有限公司当前权利人上海域申光电科技有限公司
发明人聂旭光;林喜锋;付小燕
代理机构上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)代理人赵朋晓
摘要
本发明涉及膜系设计技术领域,特别是涉及一种高功率激光焊接窗口片膜系镀制工艺,包括:步骤一、对高功率激光焊接窗口片进行膜系参数设计,膜系参数包括:膜层数、膜层材料以及膜层材料的工具因子;膜层数为2n,其中n为正整数;单数层的膜层材料为二氧化铪,双数层的膜层材料为二氧化硅;二氧化铪的工具因子为125~130%,二氧化硅的工具因子为94~98%;步骤二、根据设计的膜系参数,采用真空镀膜的方式在基片上进行膜系镀制,得到高功率激光焊接窗口片。本发明解决现有技术中高功率激光膜波长穿透力不强、抗激光损伤阈值不高的问题,提供的镀膜工艺其膜系设计合理,提高了窗口片的穿透率、波长的穿透率、抗激光损伤阈值。

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