用于超长碳纳米管生长的高效复合催化剂薄膜的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200810234755.2
IPC分类号：B01J23/78;B01J23/745;B01J35/02;C01B31/02;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/54;C23C14/02
申请日期：
2008-10-29
申请人：
苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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著录项信息

专利名称	用于超长碳纳米管生长的高效复合催化剂薄膜的制备方法
申请号	CN200810234755.2	申请日期	2008-10-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-06-09	公开/公告号	CN101722000A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J23/78 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J23/00 不包含在B01J 21/00组中的，包含金属或金属氧化物或氢氧化物的催化剂（B01J 21/16优先）〔2〕 B01J23/70 铁系金属或铜的〔2〕 B01J23/76 与包含在23/02至23/36各组的金属，氧化物或氢氧化物结合〔2〕 B01J23/78 与碱或碱土金属或铍结合〔2，6〕	IPC分类号	B;0;1;J;2;3;/;7;8;;;B;0;1;J;2;3;/;7;4;5;;;B;0;1;J;3;5;/;0;2;;;C;0;1;B;3;1;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分类表>
申请人	苏州纳米技术与纳米仿生研究所	申请人地址	江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号A103 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州捷迪纳米科技有限公司	当前权利人	苏州捷迪纳米科技有限公司
发明人	李清文;陈同来;杨晓杰;勇振中
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	陈忠辉

摘要

本发明提供一种用于超长碳纳米管生长的高效复合催化剂薄膜的制备方法，先将硅衬底清洗后，并吹干，放入反应磁控溅射装置的反应室中，沉积前反应室背底绝对压力低于5×10-3Pa；采用Fe和Mg靶材作为溅射靶，或采用Fe和Al靶材作为溅射靶，以Ar气和O2气作为溅射气体，Ar气和O2气的流量比控制在1～10之间，待硅衬底温度加热至200～700℃后，溅射气体引入反应室至沉积室，整体压强达到1～10Pa后，开始溅射成膜，溅射功率控制在40～100W之间，靶材与衬底的垂直间距为50～100mm，控制沉积膜厚度在1～5nm；沉积完成后，随炉冷却至室温，切断气体源，取出成品，从而获得Mg-Fe-O或Al-Fe-O催化剂薄膜。可大面积制备高效催化剂薄膜，效率高、成本低，适用于碳纳米管阵列的批量制备。

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