锁定式升降平移传输设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201010502629.8
IPC分类号：H01L21/677;B65G49/06
申请日期：
2010-09-30
申请人：
东莞宏威数码机械有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	锁定式升降平移传输设备
申请号	CN201010502629.8	申请日期	2010-09-30
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-06	公开/公告号	CN102001525A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人	东莞宏威数码机械有限公司	申请人地址	广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞宏威数码机械有限公司	当前权利人	东莞宏威数码机械有限公司
发明人	杨明生;郭业祥;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华
代理机构	广州三环专利代理有限公司	代理人	张艳美;郝传鑫

摘要

本发明提供了一种锁定式升降平移传输设备，包括机架、垂直升降装置、两级水平移动装置及抱紧机构。垂直升降装置包括导向件、垂直驱动机构、垂直传动机构、推动杆及相互平行的上升降板和下升降板，两级水平移动装置包括滑板、水平驱动机构、水平传动机构、推动块及承载板，承载板随下升降板在垂直驱动机构驱动下做竖直的上下移动，水平驱动机构带动滑板水平滑动，承载板受水平方向的力时在滑板上水平滑动延伸，两抱紧机构分别安装在垂直驱动机构与水平驱动机构上并分别对其输出轴进行锁定控制。本发明的锁定式升降平移设备能够同时实现垂直高度调节及平移调节并且具有锁定功能，定位准确且安全可靠，操作灵活方便，能有效提高基片传输质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供