具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜

发明专利有效专利

申请号：
CN201610705341.8
IPC分类号：H01J37/153;H01J37/09
申请日期：
2016-08-23
申请人：
FEI公司

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专利名称	具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜
申请号	CN201610705341.8	申请日期	2016-08-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-08-08	公开/公告号	CN107026065A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/153 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/153 用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;5;3;;;H;0;1;J;3;7;/;0;9查看分类表>
申请人	FEI公司	申请人地址	美国俄勒冈州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	FEI公司	当前权利人	FEI公司
发明人	B.塞达;L.图马;A.亨斯特拉
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	周学斌;陈岚

摘要

本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：提供带电粒子的非单能输入射束；将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。

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