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光照射装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200910145380.7
IPC分类号：H01L21/00;H01L21/268;H01L21/78
申请日期：
2009-05-18
申请人：
琳得科株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光照射装置
申请号	CN200910145380.7	申请日期	2009-05-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-11-25	公开/公告号	CN101587828
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8查看分类表>
申请人	琳得科株式会社	申请人地址	日本国东京都板桥区本町23-23 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	琳得科株式会社	当前权利人	琳得科株式会社
发明人	竹内顺一
代理机构	上海金盛协力知识产权代理有限公司	代理人	段迎春

摘要

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