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一种激光束自动移位控制装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220736080.3
  • IPC分类号:C23C14/28
  • 申请日期:
    2012-12-27
  • 申请人:
    北京有色金属研究总院
著录项信息
专利名称一种激光束自动移位控制装置
申请号CN201220736080.3申请日期2012-12-27
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/28IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;8查看分类表>
申请人北京有色金属研究总院申请人地址
北京市西城区新街口外大街2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京有色金属研究总院当前权利人北京有色金属研究总院
发明人张华;杨坚;周其
代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司代理人刘茵
摘要
一种激光束自动移位控制装置,包括支撑台,传动系统和透镜架;电机固定在支撑台上,电机的输出轴轴向与支撑台垂直,其下端焊接一“ㄈ”形连接片,该连接片下部平面与支撑台平行;平面上开有控制移位范围的限位槽,滑块通过滑块轴固定在限位槽上;滑块中开有通孔;滑杆穿过通孔,两者为滑动配合;滑杆的轴向平行于支撑台;轴套用螺栓固定在支撑台下方,轴套下部以轴承连接转轴;转轴中间部位与滑杆用紧定螺钉连接,转轴与滑杆非同轴;转轴下端与连杆相连接;定位销的销杆依次穿过透镜夹持器和限位块;定位销固定在连杆末端。该装置配合靶材的自转,可以保证聚焦激光束对靶材表面均匀扫描,实现薄膜的均匀沉积。

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