一种测热式微型流量传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN200510062113.5
IPC分类号：G01F1/68G01F1/69
申请日期：
2005-12-19
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种测热式微型流量传感器
申请号	CN200510062113.5	申请日期	2005-12-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-06-14	公开/公告号	CN1786674
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01F1/68 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01F 容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量〔2，5〕 G01F1/00 测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量（测量流量比例入G01F 5/00）〔2〕 G01F1/68 应用热效应〔2〕	IPC分类号	G01F1/68;G01F1/69查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	傅新;谢海波;杨华勇;段萱苡
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林怀禹

摘要

本发明公开了一种测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填充物；或在中间填充有硅胶填充物的单晶硅衬底上面设有热电堆半导体电极和加热元件，热电堆半导体电极从自下至上依次设有二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜。将传感器放在流道中，加热元件供电后产生热量，位于两侧的热电堆分别输出由各自所测量的流场范围内的温度分布差异而产生的电压信号，将两个电压信号相减后作为最终输出的电压信号，由此实现测热式流量测量。

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