一种抛光方法和装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202111122993.6
IPC分类号：B24B1/00;B24B27/033;B24B29/00;B24B49/00;B24B53/007
申请日期：
2021-09-24
申请人：
江东电子材料有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种抛光方法和装置
申请号	CN202111122993.6	申请日期	2021-09-24
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-29	公开/公告号	CN113560964A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B1/00 磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备（以使用专用机床或装置为特征的工艺，见与这些机床或装置相关的位置）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;1;/;0;0;;;B;2;4;B;2;7;/;0;3;3;;;B;2;4;B;2;9;/;0;0;;;B;2;4;B;4;9;/;0;0;;;B;2;4;B;5;3;/;0;0;7查看分类表>
申请人	江东电子材料有限公司	申请人地址	江苏省南通市如东经济开发区嘉陵江路198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江东电子材料有限公司	当前权利人	江东电子材料有限公司
发明人	朱小琴;闫瑞刚;李帅;张红帅;周建华
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	杨泽;黄健

摘要

本发明提供一种抛光方法和装置。本发明第一方面提供一种抛光方法，包括如下步骤：使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5‑30min后对所述抛光刷进行第一次清洁，第一次清洁所产生的废水和杂质不与待抛光件接触；重复上述抛光‑清洁步骤至少两次，完成待抛光件的抛光过程。本发明采用多次抛光和多次清洁相结合的方式，并对清洁过程产生的杂质进行隔挡，避免了抛光产生的杂质对待抛光件的影响，进而降低了待抛光件的抛光频率，延长了待抛光件的有效工作时间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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