一种单晶硅片清洗装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120151429.2
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/00;B08B3/10
申请日期：
2011-05-11
申请人：
浙江明峰电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种单晶硅片清洗装置
申请号	CN201120151429.2	申请日期	2011-05-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;1;0查看分类表>
申请人	浙江明峰电子科技有限公司	申请人地址	浙江省开化县工业园区银辉路1号明峰电子变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江明峰电子科技有限公司	当前权利人	浙江明峰电子科技有限公司
发明人	周伟南
代理机构	杭州天正专利事务所有限公司	代理人	舒良

摘要

本实用新型涉及一种单晶硅片清洗装置，该清洗装置的八个水槽中内设有加热器，每个加热器与加热器温控板单独连接，在第三水槽和第四水槽中分别设有冷水循环管，在第三水槽和第四水槽的一侧分别设有贮水槽，且冷水循环管与贮水槽相连接。采用本实用新型，因贮水槽内备有冷水，通过冷水在冷水循环管内的流动，降低第三水槽和第四水槽内的水温，这样可以不关闭加热器，加热器温控板就能正常显示第三水槽和第四水槽内水的温度，使水温保持在设定的温度范围内，确保硅片不被氧化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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