原子力显微镜系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202011556763.6
IPC分类号：G01Q60/24;G01Q60/38
申请日期：
2020-12-24
申请人：
广州中源仪器技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	原子力显微镜系统
申请号	CN202011556763.6	申请日期	2020-12-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-16	公开/公告号	CN112666369A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;2;4;;;G;0;1;Q;6;0;/;3;8查看分类表>
申请人	广州中源仪器技术有限公司	申请人地址	广东省广州市南沙区丰泽东路106号(自编1号楼)X1301-H010660(集群注册)(JM) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广州中源仪器技术有限公司	当前权利人	广州中源仪器技术有限公司
发明人	赵亮兵;陈天赐;尹明魁
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	卢晓霞

摘要

本申请涉及一种原子力显微镜系统，原子力显微镜系统将第一电极作为导电针尖的引出电极，不需要采用单独的细金属线或新增的金属膜电极即可将导电针尖的电信号引出，可简化石英音叉型探针引线结构，显著降低导电探针制备的难度。为了克服两个电极之间的信号干扰，将激励信号转变为对于针尖和样品的共模信号，即：将激励信号同时施加到第一电极和样品上。由于电极共用，激励信号信号实际上也施加到了导电针尖上。这样，导电针尖和样品之间的电势差等于第一样偏压信号，而不会受到激励信号的影响。另外，导电针尖的偏压信号为零，因此可以避免导电针尖的偏压信号对激励信号的影响，进而克服了偏压电信号和激发信号之间的串扰。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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