一种面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010529683.1
IPC分类号：G01B11/26
申请日期：
2010-11-03
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法
申请号	CN201010529683.1	申请日期	2010-11-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-02-16	公开/公告号	CN101975560A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/26 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;6查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	王志，王志臣，王建立，赵勇志，张艳辉
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所	代理人	陶尊新

摘要

一种面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法，涉及CCD靶面与机械安装面平行的光学检测方法，它解决了现有CCD机械安装定位面和CCD靶面的平行度差，且很难实现光学系统的焦深要求，进而影响了CCD成像质量的问题，本发明通过把矩形CCD靶面任意一个直角顶点设定为直角坐标系的原点，相应的两个直角边分别为X轴和Y轴。用工具显微镜分别读取CCD靶面的四个顶点与相应的机械安装面之间距离的数值，将测得的四个数值中的三个与原点数值相互作差Δh，再分别除以X，Y方向边长及对角线方向距离l，就可分别得出CCD靶面与安装定位面两平面在X，Y及对角线方向上的夹角。本发明原理简单，精度高，易于实现。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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