电子显微镜的物镜消像散器

发明专利有效专利

申请号：
CN201110349943.1
IPC分类号：H01J37/153
申请日期：
2011-11-08
申请人：
北京航空航天大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	电子显微镜的物镜消像散器
申请号	CN201110349943.1	申请日期	2011-11-08
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-20	公开/公告号	CN102509689A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/153 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/153 用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;5;3查看分类表>
申请人	北京航空航天大学	申请人地址	江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州博众仪器科技有限公司	当前权利人	苏州博众仪器科技有限公司
发明人	董全林;张春熹;姚骏恩;南国;高阳;张亚彬;吴国增;刘雪萍;陈川;莫西;陈楠;范运强
代理机构	北京永创新实专利事务所	代理人	周长琪

摘要

本发明提出一种电子显微镜的物镜消像散器，是用于增强物镜线圈磁感应强度的装置。所述装置主要包括电磁消像散器组件、保护套、屏蔽磁套、隔圈组件、接线螺圈、螺套、螺圈和固定光栏，电磁消像散器组件又包括线圈支架和线圈框，线圈框上缠绕有消像散线圈，接线螺圈螺纹套接在线圈支架上，保护套螺纹套接在线圈框外，固定光栏通过保护套伸入线圈支架的中心通孔，屏蔽磁套与隔圈组件固定一起，隔圈组件通过螺套和螺圈固定在线圈支架上。本发明采用电磁式，结构简单、不易污染、使用方便，且将消像散所产生的磁路限制在一个很小的范围内，增强了消像散的功能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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