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一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN202010205934.4
  • IPC分类号:B24B1/00;G02B5/10
  • 申请日期:
    2020-03-23
  • 申请人:
    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
著录项信息
专利名称一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法
申请号CN202010205934.4申请日期2020-03-23
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2020-07-10公开/公告号CN111390653A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B1/00IPC分类号B;2;4;B;1;/;0;0;;;G;0;2;B;5;/;1;0查看分类表>
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请人地址
吉林省长春市东南湖大路3888号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所当前权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人张学军;伊力奇;乔冠博
代理机构长春众邦菁华知识产权代理有限公司代理人宁晓丹
摘要
一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法涉及反射镜加工技术领域,解决了离轴非球面碳化硅轻量化反射镜制作效率低的问题,制备方法包括制作轻量化碳化硅镜坯,所述轻量化碳化硅镜坯包括碳化硅镜板和连接碳化硅镜板背面的碳化硅轻量化结构,所述碳化硅镜板正面为初始离轴非球面;对初始离轴非球面进行子孔径加工得到迭代初始离轴非球面;采用预应力加工技术对迭代初始离轴非球面进行抛光得到最终离轴非球面,一种离轴非球面轻量化碳化硅反射镜制作完成。通过本发明制备方法需要去除的材料极少,抛光速度就会成倍加快,能够解决离轴非球面碳化硅轻量化反射镜不能大批量走向应用的难题。

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