独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台

发明专利有效专利

申请号：
CN201310444240.6
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2013-09-26
申请人：
吉林大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台
申请号	CN201310444240.6	申请日期	2013-09-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-01-08	公开/公告号	CN103499308A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	吉林大学	申请人地址	吉林省长春市前进大街2699号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉林大学	当前权利人	吉林大学
发明人	赵宏伟;任露泉;高景;董晓龙;邵明坤;张鹏;程虹丙;唐可洪;范尊强;张志辉;张富;朱冰;邹青;裴永茂;董景石;张启勋;朱玉祥;李法新;呼咏;马敬春
代理机构	吉林长春新纪元专利代理有限责任公司	代理人	王怡敏

摘要

本发明涉及一种独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台，属于精密科学显微观测仪器。该平台由X、Y、Z轴精密移动组件、X、Z轴转动组件、X、Y、Z轴柔性铰链式超精密跟随组件、超景深镜头组成。X、Y、Z轴精密移动组件、X、Z轴转动组件可分别对超景深镜头距观测试件的X、Y、Z方向相对位置及相对角度进行精密调整；X、Y、Z轴柔性铰链式超精密跟随组件可实现X、Y、Z方向相对于载荷下微震动中试件的主动跟随,Y轴超精密跟随组件还可辅助超景深镜头变焦。超景深镜头用于对试件围观表面形貌进行超景深观测。优点在于：体积精巧、精密驱动、跟随效果好、集成性高，实用性强，既可以独立使用又可以和其他设备组合使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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