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在半导体器件的夹断的有源区中改善二硅化钛的电阻

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02801343.3
  • IPC分类号:H01L21/311;H01L21/306
  • 申请日期:
    2002-04-12
  • 申请人:
    皇家菲利浦电子有限公司
著录项信息
专利名称在半导体器件的夹断的有源区中改善二硅化钛的电阻
申请号CN02801343.3申请日期2002-04-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-08-11公开/公告号CN1520608
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/311
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1;1;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6查看分类表>
申请人皇家菲利浦电子有限公司申请人地址
荷兰艾恩德霍芬 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人NXP股份有限公司当前权利人NXP股份有限公司
发明人G·E·A·M·范德文;M·J·B·波尔特
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人肖春京
摘要
一种在衬底(1)上制造半导体器件(2)的方法,所说半导体器件(2)包括由间隔层(10-13,20-23)界定的硅衬底(1)中的有源区(5,6,16),有源区(5,6,16)被设置成接触包括TiSi2的互连区(29);该方法包括,在衬底(1)上淀积氧化层(26);在氧化层(26)上淀积抗蚀剂层(27)并将其图形化;用已图形化的抗蚀剂层(27),进行氧化物(26)的反应离子蚀刻以界定有源区(5,6,16);通过至少含有氧的干法条纹等离子体去除抗蚀剂(27);在氧化层(26)和有源区(5,6,16)上淀积钛(28);通过第一退火、选择湿法蚀刻和第二退火步骤形成互连区(29)作为自对准的TiSi2;干法条纹等离子体至少包括作为第二气体组分的氟。

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