控制自动导向小车的半导体工厂自动化系统及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00118687.6
IPC分类号：--
申请日期：
2000-06-21
申请人：
现代电子产业株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	控制自动导向小车的半导体工厂自动化系统及方法
申请号	CN00118687.6	申请日期	2000-06-21
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2001-01-03	公开/公告号	CN1278618
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	现代电子产业株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	现代电子产业株式会社	当前权利人	现代电子产业株式会社
发明人	高明载;曹荣洙
代理机构	柳沈知识产权律师事务所	代理人	黄小临

摘要

在半导体工厂自动化(FA)系统中控制自动导向小车(AGV)的方法,包括:接收并存储改变的工艺设备工作模式信息;在全自动化工作模式下,执行预定半导体工艺处理并发送工艺过程完成信号;产生队列;根据队列检查存储的工艺设备的工作模式信息;如存储的工作模式信息不是全自动化工作模式,中断向AGV传送队列来关闭AGV;反之根据队列激活AGV卸载该批半导体晶片。当由全自动化工作模式变为另一种工作模式时,可检查存储的工艺设备的工作模式信息有效控制AGV以在FA系统中关闭AGV。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供