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用于二氧化硅和氮化硅层的蚀刻的可印刷介质

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580046197.1
  • IPC分类号:C03C15/00
  • 申请日期:
    2005-12-19
  • 申请人:
    默克专利股份有限公司
著录项信息
专利名称用于二氧化硅和氮化硅层的蚀刻的可印刷介质
申请号CN200580046197.1申请日期2005-12-19
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2008-01-02公开/公告号CN101098833
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03C15/00IPC分类号C;0;3;C;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人默克专利股份有限公司申请人地址
德国达姆施塔特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人默克专利股份有限公司当前权利人默克专利股份有限公司
发明人W·斯托库姆;A·屈贝尔贝克;S·克莱因
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人刘明海
摘要
本发明涉及在太阳能电池生产中用于表面蚀刻的具有非牛顿流动性能的新颖可印刷蚀刻介质及其用途。本发明特别涉及对应的含粒子的组合物,通过该组合物可以蚀刻高度选择性的细结构而不损害或侵蚀相邻表面。

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