MEMS数字地震检波器

发明专利无效专利

申请号：
CN201010568976.0
IPC分类号：G01V1/18
申请日期：
2010-12-02
申请人：
中国科学院地质与地球物理研究所;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国石油化工股份有限公司石油物探技术研究院;北京吉奥菲斯科技有限责任公司

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专利名称	MEMS数字地震检波器
申请号	CN201010568976.0	申请日期	2010-12-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-06	公开/公告号	CN102486541A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01V1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01V 地球物理；重力测量；物质或物体的探测；示踪物（用于指示因事故被掩埋的人的位置，例如，被雪掩埋的人的位置的装置入A63B 29/02）〔4，6〕 G01V1/00 地震学；地震或声学的勘探或探测 G01V1/16 地震信号的接收元件；接收元件的配置或改进 G01V1/18 接收元件，例如，地震仪、地震检波器〔2〕	IPC分类号	G;0;1;V;1;/;1;8查看分类表>
申请人	中国科学院地质与地球物理研究所;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国石油化工股份有限公司石油物探技术研究院;北京吉奥菲斯科技有限责任公司	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院地质与地球物理研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国石油化工股份有限公司石油物探技术研究院,北京吉奥菲斯科技有限责任公司	当前权利人	中国科学院地质与地球物理研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国石油化工股份有限公司石油物探技术研究院,北京吉奥菲斯科技有限责任公司
发明人	郭建;车录锋;刘光鼎;宋祁真;李守才
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种MEMS数字地震检波器，为解决现有地震检波器灵敏度和抗干扰能力差问题，其由采集地震信号的MEMS地震传感器，用于低噪音电容信号放大和模拟力反馈的弱信号检测及反馈电路，将来自弱信号检测及反馈电路的模拟地震信号转化成数字信号的数字化单元，用于控制数字化单元、通信单元和供电电路的控制电路，用于接收主机系统控制命令和完成采集数据上传的数据通信单元和用于向前述五单元供电的供电电路六大单元组成。所述MEMS地震传感器和弱信号检测及反馈电路直接连接并集成为一体。所述控制电路为嵌入式CPU。所述MEMS地震传感器采用三层硅片三明治结构，采用八梁支撑、上下对称的双面梁质量块结构单片制作。其具有重量轻、体积小、灵敏度高、响应速度快、频带宽、动态范围大、畸变小、小信号识别能力和抗干扰能力强，可靠性好的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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