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一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202211309133.8
  • IPC分类号:B08B7/00;B08B13/00
  • 申请日期:
    2022-10-25
  • 申请人:
    江苏容正医药科技有限公司
著录项信息
专利名称一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质
申请号CN202211309133.8申请日期2022-10-25
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-25公开/公告号CN115382856A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B7/00IPC分类号B;0;8;B;7;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人江苏容正医药科技有限公司申请人地址
江苏省南京市江北新区智能制造产业园(中山社区)科创大道9号D8栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏容正医药科技有限公司当前权利人江苏容正医药科技有限公司
发明人常华梅;时贞平
代理机构北京汇信合知识产权代理有限公司代理人邓秋连
摘要
本说明书实施例提供一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质,该装置包括处理仓、抽气装置、等离子发生器、输送装置、控制模块;处理仓包括若干带有气阀的接口,若干带有气阀的接口分别与抽气装置和输送装置的一端连接;输送装置的另一端和等离子发生器连接;处理仓内包括至少一个温度传感器;抽气装置用于抽出处理仓内的气体;输送装置用于输送等离子发生器生成的等离子体气体至处理仓内;控制模块用于控制抽气装置执行抽气动作、控制输送装置的输送动作、控制等离子发生器的启闭、控制气阀的启闭。

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