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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

曝光装置、平面显示器之制造方法、以及元件制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110601500.0
  • IPC分类号:G03F7/20;G01D5/38
  • 申请日期:
    2016-09-29
  • 申请人:
    株式会社尼康
著录项信息
专利名称曝光装置、平面显示器之制造方法、以及元件制造方法
申请号CN202110601500.0申请日期2016-09-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-07公开/公告号CN113359395A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;1;D;5;/;3;8查看分类表>
申请人株式会社尼康申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社尼康当前权利人株式会社尼康
发明人白户章仁
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人侯天印;郝博
摘要
一种液晶曝光装置,对沿着XY平面移动之基板保持具(34)所保持之基板(P),在基板保持具(34)往X轴方向之移动中经由光学系统(16)照射照明光,其具有:标尺(52),根据基板保持具往X轴方向之移动而被测量;读头(66x、66y),根据基板保持具往X轴方向之移动,一边相对标尺(52)往X轴方向相对移动一边测量标尺(52);多个标尺(56),根据基板保持具往Y轴方向之移动而被测量,配置于在X轴方向彼此不同之位置;以及多个读头(64x、64y),对应标尺(56)之各个设置,且根据基板往Y轴方向之移动,一边相对标尺(56)往Y轴方向相对移动一边测量标尺(56)。

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