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具有滴水边缘构造的衬底载体

发明专利无效专利

申请号：
CN201380020056.7
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/673
申请日期：
2013-04-16
申请人：
布鲁克CCS有限公司;路茨·雷伯斯托克

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有滴水边缘构造的衬底载体
申请号	CN201380020056.7	申请日期	2013-04-16
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-11	公开/公告号	CN104350590A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人	布鲁克CCS有限公司;路茨·雷伯斯托克	申请人地址	德国巴登符腾堡州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	布鲁克CCS有限公司,路茨·雷伯斯托克	当前权利人	布鲁克CCS有限公司,路茨·雷伯斯托克
发明人	路茨·雷伯斯托克
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	王鹏鑫

摘要

衬底载体可具有引导液体离开衬底的排水区域，从而可将液滴引流离开衬底区域。排水区域可包括从衬底向着地面倾斜的线或表面。载体可进一步具有引导液滴到达载体的一端的排水区域，然后液体可被引流到地面，而不是自由滴落到地面。

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