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用于在处理具有50nm或更小的线距尺寸的图案化材料时避免图案塌陷的包含氨活化硅氧烷的组合物

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202080027760.5
  • IPC分类号:G03F7/40;C11D11/00
  • 申请日期:
    2020-03-27
  • 申请人:
    巴斯夫欧洲公司
著录项信息
专利名称用于在处理具有50nm或更小的线距尺寸的图案化材料时避免图案塌陷的包含氨活化硅氧烷的组合物
申请号CN202080027760.5申请日期2020-03-27
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-26公开/公告号CN113711130A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/40IPC分类号G;0;3;F;7;/;4;0;;;C;1;1;D;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人巴斯夫欧洲公司申请人地址
德国莱茵河畔路德维希港 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人巴斯夫欧洲公司当前权利人巴斯夫欧洲公司
发明人高齐岳;沈美卿;魏圣轩;D·勒夫勒;A·克里普;M·布里尔;S·奇霍尼;F·皮龙;N·B·海涅
代理机构北京市中咨律师事务所代理人肖威;刘金辉
摘要
一种非水性组合物,其包含:(a)有机质子溶剂,(b)氨,和(c)至少一种式I或II的添加剂,其中:R1为H;R2选自H、C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基;R3选自R2;R4选自C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基;R10、R12独立地选自C1‑C10烷基和C1‑C10烷氧基;m为1、2或3;n为0或1‑100的整数。

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