利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用

发明专利无效专利

申请号：
CN02811246.6
IPC分类号：H03H9/24
申请日期：
2002-05-24
申请人：
英特尔公司

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专利名称	利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用
申请号	CN02811246.6	申请日期	2002-05-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-07-14	公开/公告号	CN1513228
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/24 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/24 不用压电、电致伸缩或磁致伸缩材料的谐振器的结构特点	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;2;4查看分类表>
申请人	英特尔公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英特尔公司	当前权利人	英特尔公司
发明人	庆·马;安德鲁·伯林
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	王英

摘要

本发明公开了一种用于改变谐振器梁的谐振频率的方法。该方法包括首先制造具有第一端和第二端的谐振器梁。该谐振器梁通过第一端和第二端被悬置在衬底的上方。谐振器梁的至少一端连接到致动器，该致动器向谐振器梁施加致动力以向所述谐振器梁上施加拉伸应变或者压缩应变。通过改变致动力的量，可以调整谐振器梁的谐振频率。另外，通过改变致动力的大小和方向，谐振器梁可以用作温度传感器或者温度补偿谐振器。

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