子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210101164.4
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2012-03-31
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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著录项信息

专利名称	子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法
申请号	CN201210101164.4	申请日期	2012-03-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-08-01	公开/公告号	CN102620683A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	王孝坤
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所	代理人	张伟

摘要

子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法涉及光学检测领域，该方法包括如下步骤：设定干涉仪，使其参考球波前的曲率半径与待测非球面中心区域的最接近球面半径吻合；调整干涉仪与待测非球面的相对位置关系，使干涉仪标准球面波前对准非球面待测区域；通过模式搜索误差补偿方法，消除标准球面检测偏离量较大的待测非球面时产生的调整误差；通过子孔径拼接检测技术，实现全口径拼接检测，得到精确的面型结果。本发明利用模式搜索误差补偿方法可以很好的将由于拼接测量位置没有对准带来的调整误差从测量的子孔径相位数据中消除，从而很好地实现多个子孔径的拼接，精确的完成非球面全口径面形拼接检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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