带电粒子束装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202011014963.9
IPC分类号：H01J37/20;H01J37/244;H01J37/26
申请日期：
2020-09-24
申请人：
日本株式会社日立高新技术科学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	带电粒子束装置
申请号	CN202011014963.9	申请日期	2020-09-24
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-26	公开/公告号	CN112563103A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/20 物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;J;3;7;/;2;4;4;;;H;0;1;J;3;7;/;2;6查看分类表>
申请人	日本株式会社日立高新技术科学	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本株式会社日立高新技术科学	当前权利人	日本株式会社日立高新技术科学
发明人	村木礼奈;上本敦;麻畑达也
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	黄志坚;崔成哲

摘要

本发明提供一种带电粒子束装置，能够使自动微采样高速化。带电粒子束装置是从试样自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置着所述试样移动；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离及摘出的所述试样片；保持器固定台，其保持供移设所述试样片的试样片保持器；以及计算机，其根据学习第1信息而得到的机器学习的模型和第2信息来进行与第2对象物相关的位置的控制，其中，所述第1信息包含第1对象物的第1图像，所述第2信息包含通过所述带电粒子束的照射而取得的第2图像。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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