分光装置以及分光装置的驱动方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011305986.5
IPC分类号：G02B26/00;G01J3/26;G01B7/14
申请日期：
2020-11-19
申请人：
精工爱普生株式会社

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著录项信息

专利名称	分光装置以及分光装置的驱动方法
申请号	CN202011305986.5	申请日期	2020-11-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-25	公开/公告号	CN112835193A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B26/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B26/00 利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通、调制（用于控制灯光顺序的照明装置的可机械操作的部分入F21V；专门用于测量光特性的装置入G01J；其光学操作随介质光学性质的改变而改变的器件或装置入G02F 1/00；光控制一般入G05D 25/00；光源的控制入H01S 3/10，H05B 37/00至H05B 43/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;2;B;2;6;/;0;0;;;G;0;1;J;3;/;2;6;;;G;0;1;B;7;/;1;4查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	广久保望
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	沈丹阳

摘要

本发明涉及分光装置以及分光装置的驱动方法，在分光装置中存在如下课题，即，在仅基于波长偏差量的错误检测中，甚至将对测量精度没有影响的波长偏差也作为错误而进行检测。分光装置具备干涉滤波器、间隙传感器以及错误检测部，所述干涉滤波器具备一对反射膜，并输出与一对所述反射膜的间隙尺寸相应的分光波长的光，所述间隙传感器检测所述间隙尺寸，所述错误检测部基于通过所述间隙传感器检测到的所述间隙尺寸所对应的所述分光波长与从所述干涉滤波器输出的光的目标波长之差来检测错误，所述错误检测部在将所述差的绝对值在时间轴上进行积分而得的积分值超过阈值时检测错误。

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