水浴激光消融和激光加工的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03129608.4
IPC分类号：--
申请日期：
2003-06-27
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	水浴激光消融和激光加工的方法
申请号	CN03129608.4	申请日期	2003-06-27
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-02-18	公开/公告号	CN1475324
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	叶震寰;楼祺洪;董景星;魏运荣;凌磊
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种水浴激光消融和激光加工方法，将需要激光消融和激光加工的样品置于盛有水的容器中，然后放置于激光辐照的范围内进行激光消融或激光加工处理。样品放置于水浴中阻断了其暴露于空气环境中的不利情况，水浴不但降低样品表面的温度，抑制激光消融飞溅物的产生和再沉积，改善样品表面的光洁度和加工精度；而且对激光等离子体所产生的冲击波起到反向增强的作用，对表面施以压应力，可以改善样品表面的应力分布，从而提高其机械性能。本发明方法适用于耐水的样品，比如硅片、玻璃等非金属，并且适用于可在水中传播的激光波段，蓝绿激光被水吸收很小是很好的光源。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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