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浆料掺和工具及制作浆料的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110109728.8
  • IPC分类号:B01F5/10;B01F5/12;B01F15/00;B01F15/02
  • 申请日期:
    2021-01-27
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称浆料掺和工具及制作浆料的方法
申请号CN202110109728.8申请日期2021-01-27
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-17公开/公告号CN113262658A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01F5/10IPC分类号B;0;1;F;5;/;1;0;;;B;0;1;F;5;/;1;2;;;B;0;1;F;1;5;/;0;0;;;B;0;1;F;1;5;/;0;2查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人丘济玮;陈勇龙;陈柏彰;苏崇诚;陈语君;许敬荣;赖启栋
代理机构南京正联知识产权代理有限公司代理人顾伯兴
摘要
提供一种浆料掺和工具及制作浆料的方法。浆料掺和工具可包括:掺和槽,用于接收一种或多种材料且将所述一种或多种材料掺和成浆料;以及至少一个入口管,连接到掺和槽且将所述一种或多种材料提供到掺和槽。所述至少一个入口管可垂直地进入掺和槽且可不接触掺和槽。浆料掺和工具可包括:掺和泵,部分地设置在掺和槽内且用于将所述一种或多种材料掺和成浆料。浆料掺和工具可包括:出口管,连接到掺和泵且从掺和槽移除浆料。

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