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光刻胶及亚胺类材料的图案化方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010815574.X
  • IPC分类号:G03F7/004;G03F7/00
  • 申请日期:
    2020-08-13
  • 申请人:
    清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司
著录项信息
专利名称光刻胶及亚胺类材料的图案化方法
申请号CN202010815574.X申请日期2020-08-13
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2020-11-03公开/公告号CN111880371A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/004IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司申请人地址
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200-11号中国传感网国际创新园E2-503 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡华睿芯材科技有限公司当前权利人无锡华睿芯材科技有限公司
发明人徐宏;何向明;王倩倩
代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司代理人王勤思
摘要
本发明公开了一种光刻胶,包括:氨基化合物、醛基化合物、产酸剂和溶剂,所述产酸剂能够在紫外光下分解形成光酸催化剂,所述光酸催化剂能够催化所述氨基化合物和所述醛基化合物发生缩合反应形成亚胺类聚合物;所述氨基化合物在所述光刻胶中的质量百分数为0.4%~30%,所述醛基化合物在所述光刻胶中的质量百分数为0.5%~30%,所述产酸剂在所述光刻胶中的质量百分数为0.01%~8%。本发明还公开了一种亚胺类光刻胶材料的图案化方法。

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