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激光加工装置和激光加工方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310128509.X
  • IPC分类号:B23K26/36
  • 申请日期:
    2013-04-15
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称激光加工装置和激光加工方法
申请号CN201310128509.X申请日期2013-04-15
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2013-10-30公开/公告号CN103372720A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/36IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;3;6查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人生越信守
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李辉;黄纶伟
摘要
本发明提供激光加工装置和激光加工方法,其无论被加工物的激光照射面状态如何都能实施均匀的激光加工。对被加工物实施激光加工的激光加工装置的特征在于具有:卡盘台,其保持被加工物;激光束照射构件,其包括激光振荡器和加工头,该加工头具有聚光透镜,该聚光透镜对从该激光振荡器振荡出的激光束进行会聚;反射光量检测构件,其检测从该激光束照射构件照射到保持于该卡盘台的被加工物的激光束的反射光量;以及输出调整构件,其基于由该反射光量检测构件检测出的反射光量,调整从该激光振荡器振荡出的激光束的输出。

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