非导电探针检测铁电材料微区极性分布的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510021780.9
IPC分类号：G01R29/00;G01R29/24;G01R31/00
申请日期：
2005-09-30
申请人：
电子科技大学

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著录项信息

专利名称	非导电探针检测铁电材料微区极性分布的方法
申请号	CN200510021780.9	申请日期	2005-09-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2006-05-03	公开/公告号	CN1766661
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R29/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R29/00 不包括在G01R 19/00至G01R 27/00各组中的电量的测量或指示装置	IPC分类号	G;0;1;R;2;9;/;0;0;;;G;0;1;R;2;9;/;2;4;;;G;0;1;R;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人	电子科技大学	申请人地址	四川省成都市建设北路二段四号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	电子科技大学	当前权利人	电子科技大学
发明人	黄惠东;王志红;李言荣;杨传仁;沈博侃
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

非导电探针检测铁电材料微区极化特性分布的方法，属于材料分析与表征技术领域。包括：准备；聚焦；调光；进针；形貌预扫描，根据形貌预扫描确定是否更换探针；确定检测电场的电压和频率；精确扫描；退针，数据处理和像输出等步骤。其实质是采用非导电探针，将通常施加在样品上的交流检测电场改为施加在样品下电极和探针悬臂之间，通过加大该电场来保证实际加在样品上的有效电场；并基于同样的逆压电效应，利用扫描力显微镜现有的数据探测、数据分析和处理手段来检测压电材料的微区极性分布情况。本发明由于采用的是成本更低的非导电探针，可以节约检测成本；并与通常的测试平台相兼容，操作简单方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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