传感器的温度补偿方法、该温度补偿方法的运算程序、运算处理装置、及传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201280026391.3
IPC分类号：G01L19/04;G01L9/00
申请日期：
2012-05-31
申请人：
独立行政法人科学技术振兴机构

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	传感器的温度补偿方法、该温度补偿方法的运算程序、运算处理装置、及传感器
申请号	CN201280026391.3	申请日期	2012-05-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-19	公开/公告号	CN103597330A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L19/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L19/00 用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的 G01L19/04 补偿温度变化影响的装置	IPC分类号	G;0;1;L;1;9;/;0;4;;;G;0;1;L;9;/;0;0查看分类表>
申请人	独立行政法人科学技术振兴机构	申请人地址	日本国埼玉县川口市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	独立行政法人科学技术振兴机构	当前权利人	独立行政法人科学技术振兴机构
发明人	郝秀春;蒋永刚;藤田孝之;樋口行平;前中一介;高尾英邦
代理机构	北京北翔知识产权代理有限公司	代理人	钟守期;杨勇

摘要

本发明的目的在于，提供一种传感器的温度补偿方法、该温度补偿方法的运算程序、用于运算处理该运算程序的运算处理装置、及传感器，该温度补偿方法通过抵消由内腔内的气体温度而产生的压力变化（密封在内腔内的气体的热膨胀）所引起的隔膜的变形，并在目标温度的范围内抑制隔膜的变形，由此能够进行最适度的温度补偿。本发明的静电容量型传感器的温度补偿方法，通过执行包含求出静电容量的变化量ΔC’的运算步骤S17的各运算步骤，由此得到可以判断由密闭空间内的气体温度而产生的压力变化（密封在密闭空间内的气体的热膨胀）所引起的、隔膜部的变形的补偿程度的参数ΔC’。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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