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用于快速测试的半导体取送机

发明专利无效专利

申请号：
CN01808613.6
IPC分类号：H01L21/00
申请日期：
2001-04-13
申请人：
泰拉丁公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于快速测试的半导体取送机
申请号	CN01808613.6	申请日期	2001-04-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-06-25	公开/公告号	CN1426595
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	泰拉丁公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	泰拉丁公司	当前权利人	泰拉丁公司
发明人	安德烈亚斯·C·普法恩尔;约翰·D·穆尔
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	谷惠敏;袁炳泽

摘要

公开了一种带状，引线框架的，或板型的用于测试半导体部件的取送装置。该取送装置具有嵌入的电阻加热器的热板组件。这些加热器分区单独控制，用来在高温测试时为整个板提供均匀温度。板中形成有冷却通道。该板还提供混合通道，以便使用不同类型的冷却流体以不同速率冷却，或以不同水平保持低温。该冷却通道也分区配备，以提高温度均匀性。在测试中用真空通道使半导体部件与热板紧密接触。

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