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带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN93104872.9
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1993-04-29
  • 申请人:
    北京科技大学
著录项信息
专利名称带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法
申请号CN93104872.9申请日期1993-04-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日1994-11-09公开/公告号CN1094758
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人北京科技大学申请人地址
北京市海淀区学院路30号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京科技大学当前权利人北京科技大学
发明人吕反修;程德刚;叶锐曾;孙庆标;于文秀;杨让
代理机构北京科技大学专利代理事务所代理人刘月娥
摘要
本发明提供了一种带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法,第一层为氟化钠膜,厚度为1.7~2.25μm,第二层为磁控溅射类金刚石碳膜,厚度为500~1000A,其中氟化钢膜用电子束蒸镀工艺进行沉积,背底真空度为1~2×10-3Pa,功率为50~120W,选用高纯NaF晶体作蒸发材料,所用蒸发舟材料为金属Mo,基片温度70~150℃。本发明的优点在于在10.6μm反射率小,吸收率低,抗连续CO2激光损伤阈值高,而且具有抗潮解的能力。

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