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在真空环境中非接触式运输载体的磁浮系统及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880087132.9
  • IPC分类号:F16F15/00;F16F15/03;F16C32/04
  • 申请日期:
    2018-01-25
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称在真空环境中非接触式运输载体的磁浮系统及方法
申请号CN201880087132.9申请日期2018-01-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-09-18公开/公告号CN111684173A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F16F15/00IPC分类号F;1;6;F;1;5;/;0;0;;;F;1;6;F;1;5;/;0;3;;;F;1;6;C;3;2;/;0;4查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;拉尔夫·林登贝格;布里塔·斯帕
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
一种位于真空环境中的磁浮系统,及一种在真空环境中非接触式地运输载体的方法。系统包含:在正方向上可非接触式地移动的载体;至少一磁性轴承,被构造为在与重力相反的保持方向上对载体施加磁力,并将载体非接触式地保持于轴承处;以及作用于载体上的减振装置,减振装置被构造为在与正方向和保持方向垂直的横方向上抑制载体振动。

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