一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310675656.9
IPC分类号：H01J27/02
申请日期：
2013-12-11
申请人：
中国航空工业第六一八研究所

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著录项信息

专利名称	一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法
申请号	CN201310675656.9	申请日期	2013-12-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-06-17	公开/公告号	CN104715986A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J27/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J27/00 离子束管（H01J 25/00，H01J 33/00，H01J 37/00优先；粒子加速器入H05H） H01J27/02 离子源；离子枪〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;2;7;/;0;2查看分类表>
申请人	中国航空工业第六一八研究所	申请人地址	陕西省西安市雁塔区电子一路92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国航空工业第六一八研究所	当前权利人	中国航空工业第六一八研究所
发明人	苏宇;刘希强;任旭升;张爱民;王涛
代理机构	中国航空专利中心	代理人	杜永保

摘要

本发明属于离子源技术，涉及一种悬浮式多爪栅极的注塞式绝缘紧固结构及装配方法。本发明中栅极表面具有蜂窝排布的小孔，栅极的外围为圆对称的悬浮式多爪结构，三片栅极间依靠这些悬浮爪进行紧固，采用螺杆贯穿式紧固结构固定三片栅极的每个爪，栅极之间采用凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷配合支撑，并可以使用金属薄垫片进行三片栅极间的间距调节。本发明通过对悬浮爪的调节，在保证栅极间距一致性的同时，降低了对三片栅极面形一致性的要求，两种类型陶瓷的配合使用提高了栅极间绝缘度，保障高温工作条件下大束压、大束流离子束的稳定引出。

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