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控制半导体器件的图案均匀性的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010569753.6
IPC分类号：H01L21/02;G03F7/20;G06F17/50
申请日期：
2010-12-02
申请人：
海力士半导体有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	控制半导体器件的图案均匀性的方法
申请号	CN201010569753.6	申请日期	2010-12-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-09	公开/公告号	CN102237265A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;6;F;1;7;/;5;0查看分类表>
申请人	海力士半导体有限公司	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	海力士半导体有限公司	当前权利人	海力士半导体有限公司
发明人	韩德宣;金美惠
代理机构	北京弘权知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭放;黄启行

摘要

本发明涉及一种控制在半导体器件中形成的图案的均匀性的方法，所述方法包括以下步骤：在控制最外部轮廓的尺寸的同时，获得关于各个情况下的仿真轮廓；和将与仿真轮廓中所包括的图案的3σ值满足前述条件的外部图案的尺寸确定作为外部目标图案的尺寸。

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