基板传输机构和具有它的基板传输系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201210045987.X
IPC分类号：B65G47/90;B65G47/91;B65G49/06;B65G49/07
申请日期：
2012-02-27
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	基板传输机构和具有它的基板传输系统
申请号	CN201210045987.X	申请日期	2012-02-27
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日	2013-09-11	公开/公告号	CN103287847A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G47/90 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G47/00 与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法 B65G47/74 特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置 B65G47/90 捡取或放下物件或物料的装置	IPC分类号	B;6;5;G;4;7;/;9;0;;;B;6;5;G;4;7;/;9;1;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	周卫国
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	宋合成

摘要

本发明公开了一种基板传输机构包括：一种基板传输机构，其特征在于，包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板。根据本发明实施例的基板传输机构，结构简单、操作方便且效率高，可省略了传统的基片传输机构中的通用式机械手臂等设备，成本低。本发明还公开了一种具有上述基板传输机构的基板传输系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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